Eon-LT?溫度與薄膜厚度測量監測器是一個基于電腦的薄膜厚度監測器,遠遠優于優于傳統的監測器,傳統的監測器無法感知晶體的熱變化。本監測器是把頻率和溫度測量相結合,在實時速率和薄膜厚度監測方面可獲取從來沒有的精度。?為什么要測量溫度?因為加熱過程導致晶體的頻率變化,毫無疑問等于鍍膜引起的頻率變化,對大多數速率測量,在正常操作會存在10%的誤差,最糟糕的情況,會產生100%的誤差。如果你的測量總是出錯,那就是我們為什么要用Eon-LT?溫度測量薄膜厚度監測器來測量。?特點:< 附加精密的溫度測量< 與最新、直觀的 Eon?軟件通信 |